List
of selected publications of M.S.Krivokorytov
- Vinokhodov A.Y., Krivokorytov M.S., Sidelnikov Yu.V., Krivtsun V.M., Medvedev V.V., Koshelev K.N. Droplet-based, high-brightness extreme ultraviolet laser plasma source for metrology. - J.Appl.Phys., 2016, v.120, No.16, p.3304.
- Vinokhodov A., Krivokorytov M., Sidelnikov Yu.V., Krivtsun V., Medvedev V., Bushuev V., Koshelev K., Glushkov D., Ellwi S. Stable droplet generator for a high brightness laser produced plasma extreme ultraviolet source. - Rev.Sci.Instrum., 2016, v.87, No.10, p.3304.
- Vinokhodov A.Y., Krivokorytov M.S., Sidelnikov Y.V., Krivtsun V.M., Medvedev V.V., Koshelev K.N. High-brightness EUV source based on laser plasma using a liquid-metal droplet target. - Quant. Electronics, 2016, v.46, No.5, p.473-480.
- Vinokhodov A.Y., Krivtsun V.M., Lash A.A., Borisov V.M., Yakushev O.F., Koshelev K.N. High-brightness laser-induced EUV source based on tin plasma with an unlimited lifetime of electrodes. - Quant. Electronics, 2016, v.46, No.1, p.81-87.
- Abrikosov A.A., Yakushev O.F., Lopaev D.V., Krivtsun V.M. Dynamics of the ion energy spectrum in EUV-induced hydrogen plasma. - Plasma Phys.Reports, 2017, v.43, No.6, p.614-620.
- Krivokorytov M.S., Vinokhodov A.Y., Sidelnikov Y.V., Krivtsun V.M., Kompanets V.O., Lash A.A., Koshelev K.N., Medvedev V.V. Cavitation and spallation in liquid metal droplets produced by subpicosecond pulsed laser radiation. - Phys.Rev.E, 2017, v.95, No.3, p.1101.
- Basko M.M., Krivokorytov M.S., Vinokhodov A.Y., Sidelnikov Y.V., Krivtsun V.M., Medvedev V.V., Kim D.A., Kompanets V.O., Lash A.A., Koshelev K.N. Fragmentation dynamics of liquid-metal droplets under ultra-short laser pulses. - Laser Phys.Lett., 2017, v.14, No.3, p.6001.
- Koshelev K., Vinokhodov A., Yakushev O., Yakushkin A., Abramenko D., Lash A., Krivokorytov M., Sidelnikov Y., Ivanov V., Krivtsun V., Medvedev V., Glushkov D., Seroglazov P., Ellwi S., Lebert R. Debris free high brightness ligth source based on LPP for actinic EUV microscopy and metrology applications. - Proc.of SPIE Conf.on EUV Lithography (EUVLS), 2018, v.10809.
- Grigoryev S.Y., Lakatosh B.V., Krivokorytov M.S., Zhakhovsky V.V., Dyachkov S.A., Ilnitsky D.K., Migdal K.P., Inogamov N.A., Vinokhodov A.Y., Kompanets V.O., Sidelnikov Y.V., Krivtsun V.M., Koshelev K.N., Medvedev V.V. Expansion and Fragmentation of a Liquid-Metal Droplet by a Short Laser Pulse. - Phys.Rev.Appl., 2018,v.10, No.6, p.4009.
- Krivokorytov M.S., Zeng Q., Lakatosh B.V., Vinokhodov A.Y., Sidelnikov Y.V., Kompanets V.O., Krivtsun V.M., Koshelev K.N., Ohl C.D., Medvedev V.V. Shaping and Controlled Fragmentation of Liquid Metal Droplets through Cavitation. - Sci Rep, 2018, v.8, p.597.
- Vinokhodov A.Y., Yakushkin A.A., Yakushev O.F., Krivokorytov M.S., Krivtsun V.M., Medvedev V.V., Lash A.A., Koshelev K.N. A Magnetohydrodynamic System for Pumping Liquid Metal Media in a Plasma Source of Extreme Ultraviolet Radiation. - Instrum.Exp.Tech., 2019, v.62, No.2, p.283-288.
- Абраменко Д.Б., Анциферов П.С., Астахов Д.И., Виноходов А.Ю., Вичев И.Ю., Гаязов Р.Р., Грушин А.С., Дорохин Л.А., Иванов В.В., Ким Д.А., Кошелев К.Н., Крайнов П.В, Кривокорытов М.С., Кривцун В.М., Лакатош Б.В., Лаш А.А., Медведев В.В., Рябцев А.Н., Сидельников Ю.В., Снегирев Е.П., Соломянная А.Д., Спиридонов М.В., Цыгвинцев И.П., Якушев О.Ф., Якушкин А.А. Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН) – Успехи Физических Наук, 2019, т.189, № 3 , с.: 323-334.
- Abramenko D.B., Antsiferov P.S., Astakhov D.I., Vinokhodov A.Y., Vichev I.Y., Gayazov R.R., Grushin A.S., Dorokhin L.A., Ivanov V.V., Kim D.A., Koshelev K.N., Krainov P.V., Krivokorytov M.S., Krivtsun V.M., Lakatosh B.V., Lash A.A., Medvedev V.V., Ryabtsev A.N., Sidelnikov Yu.V., Snegirev E.P., Solomyannaya A.D., Spiridonov M.V., Tsygvintsev I.P., Yakushev O.F., Yakushkin A.A. Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection (50th anniversary of the Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences). - Physics - Uspekhi, 2019, v.62, No.3, p.304-314.
- Виноходов А.Ю., Якушкин А.А., Якушев О.Ф., Кривокорытов М.С., Кривцун В.М., Медведев В.В., Лаш А.А., Кошелев К.Н. Магнитогидродинамическая система для прокачки жидких металлов в плазменном источнике экстремального ультрафиолетового излучения. - Приборы и техника эксперимента, 2019, №2, с: 129-135.
- Gubarev V.V., Krivokorytov M.S., Ramirez B.J.A., Krivtsun V.M., Ivanov V.V., Medvedev V.V., Pal A., Krasnikov D.V., Nasibulin A.G. InSn plasma penetration through protective single-walled carbon nanotube-based membranes. - Appl. Phys. Let., 2022, v.121, No.14, p.141901.
- Gubarev V.M., M. Krivokorytov M.S., Krivtsun V.M., Novikova N.N., Yakunin S., Pal A., Ramirez B.J.A., Krasnikov D.V., Medvedev V.V, Nasibulin A.G. Ar permeability through densified single-walled carbon nanotube-based membranes. - J. Appl. Phys., 2023, v.133, No.9, p.095106.
Please contact for more of his data:
e-mail: